4-6 軸 LHe 機(jī)械手（開(kāi)式循環(huán)）
光譜 UHV 機(jī)械手具有加熱和 LHe 冷卻（開(kāi)式循環(huán)）的可能性。
它是一款高精度、高剛性的 UHV 試樣機(jī)械手，采用模塊化結(jié)構(gòu)，適用于一系列 X、Y、Z 線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)和 R1、R2、R3 旋轉(zhuǎn)。模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過(guò)添加或更換定義明確的模塊來(lái)升級(jí)或修改規(guī)范。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 減少到 10 個(gè)-11毫巴 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB， 直接 |
| 冷卻方式 | LHe |
| XY 范圍 | ± 9 mm – 用于 DN 100CF ±?12.5 mm – 用于 DN 160CF 底座法蘭 |
| 位置控制 | 千分尺/電動(dòng)* |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范圍 | 最大 600 毫米 |
| 位置控制 | 手輪/電動(dòng)* |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 1 mm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm（可根據(jù)要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | ± 180° 或 ± 360° |
| 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋入裝置/電動(dòng)* |
| 分辨率（電動(dòng)） | 0.1° |
| R2 范圍 | 360° 連續(xù) |
| 位置控制 | 機(jī)動(dòng)* |
| 分辨率（電動(dòng)） | 0.1° |
| R3 范圍 | – 20° 至 +40° |
| 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋入裝置/電動(dòng)* |
| 分辨率（電動(dòng)） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
機(jī)械手可以根據(jù)要求為客戶(hù)的電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器做好準(zhǔn)備。
選項(xiàng)
- 全機(jī)動(dòng)化
- 完全軟件控制
- 氦氣回收系統(tǒng)
- 可以安裝角度設(shè)備進(jìn)行 PES 校準(zhǔn)
- 溫度穩(wěn)定
- 加熱選項(xiàng)：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
加熱/冷卻
樣品溫度取決于樣品架類(lèi)型：
- 用?10 A?直接加熱，
- 電阻加熱至 1100 °C，
- EB 加熱至 1400°，
- 液氦冷卻：
– 4 軸機(jī)械手 –?低至 4 K*
– 5 軸機(jī)械手 –?低至 4.8 K* /?10 K**
– 6 軸機(jī)械手 –?低至 7 K* /?15 K**
* 無(wú)加熱選項(xiàng)和溫度穩(wěn)定時(shí)達(dá)到的參數(shù)
** 有加熱選項(xiàng)時(shí)達(dá)到的參數(shù)
