波蘭PREVAC,科學(xué)產(chǎn)品,組件,機(jī)械手,模塊 , 線性位移

線性位移

UHV 傳輸機(jī)構(gòu)由一對(duì)法蘭制成，由邊緣焊接波紋管連接。

自由法蘭以受控、精確的運(yùn)動(dòng)向固定法蘭移動(dòng)，同時(shí)保持平行度。它的動(dòng)作類似于 Z 滑塊縱器，但行程長(zhǎng)度和整體定位分辨率略有減少。標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭為 DN 40CF 或 DN 63CF。該換檔由手輪驅(qū)動(dòng)，可以在任何方向工作。

線性位移專為儀器的線性運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)，運(yùn)動(dòng)中的傾斜或擺動(dòng)最小，在抽空前后保持精確對(duì)準(zhǔn)

技術(shù)數(shù)據(jù)

基座法蘭DN 40CF 或 DN 63CF
移動(dòng)法蘭公稱通徑 40CF
Z 范圍150 mm 的 25、50、75、100
波紋管 ID38.5 毫米
位置控制手輪 / 機(jī)動(dòng) （可選）
分辨率1 毫米
重復(fù)性1 毫米
傾斜范圍（用于帶傾斜的 LS）± 4°
烘烤溫度最高 150 °C

長(zhǎng)度

壓縮長(zhǎng)度 [mm]
延伸長(zhǎng)度 [mm]
Z 范圍 [mm]標(biāo)準(zhǔn)高穩(wěn)定性帶傾斜
公稱型號(hào) 40/40CF公稱型號(hào) DN 63/40CFDN 40/40CF
雙導(dǎo)向波紋管		公稱型號(hào) 40/40CFDN 63/40 CF公稱型號(hào) 40/40CF公稱型號(hào) DN 63/40CF
2545
70		47,5
72,5		–
–		–
–		47,5
72,5		–
–		–
–
5051
101		55
105		–
–		–
–		60.7
110.7		–
–		–
–
7553
128		60
135		–
–		54.3
129.3		–
–		65
140		–
–
10065
165		69
169		–
–		65
165		69
169 元		66
166		55
157
150–
–		–
–		80
230		–
–		–
–		–
–		–
–

應(yīng)用

線性移位用于不需要其他線性運(yùn)動(dòng)設(shè)備更高精度和漸變運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用。它們通常用于：

  • 表面科學(xué)工具相對(duì)于樣品位置的作，
  • 蒸發(fā)和濺射源的縱，
  • 電子和 X 射線源的縱，
  • 縱石英振蕩器，
  • 樣品轉(zhuǎn)移應(yīng)用程序。

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