MG15超高真空離子規(guī)控制器能夠支持4個(gè)主動(dòng)規(guī)和最多3個(gè)被動(dòng)規(guī),測(cè)量范圍可擴(kuò)展到2×10?12mbar。MG15超高真空離子規(guī)控制器完全由軟件控制,并且可以通過可用的接口之一進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
MG15超高真空離子規(guī)控制器主要特征:
- 測(cè)量范圍從大氣壓到2×10?12毫巴
- 壓力圖
- 壓力趨勢(shì)圖
- 測(cè)量濾波(低、中、高)
- 控制幾乎所有商業(yè)可用的貝葉爾-阿爾珀特規(guī)
- 貝葉爾-阿爾珀特規(guī)的排氣功能,包括功率和時(shí)間限制
- 支持Ir/W/Thoria燈絲
- 貝葉爾-阿爾珀特規(guī)的過壓保護(hù)
- 可選擇的測(cè)量單位:毫巴、托、帕斯卡、磅力每平方英寸
- 氣體特定的校正,具有一個(gè)自定義設(shè)置
- 單位過溫保護(hù)
- 10個(gè)可單獨(dú)編程的設(shè)定點(diǎn),具有閾值和滯后功能
- 用戶定義的通道名稱
- 主動(dòng)規(guī)的自我識(shí)別功能
- 圖表模塊——實(shí)時(shí)壓力圖表,支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出(選項(xiàng))
- 所有通道的并行測(cè)量
- 通量監(jiān)測(cè)
- 黑匣子版本可選(選項(xiàng))——無7寸TFT顯示屏
- 完全由軟件控制(選項(xiàng))
- 自動(dòng)保存功能,用于保存您的參數(shù)/單位預(yù)設(shè),并在重啟后自動(dòng)應(yīng)用
- 兼容LabVIEW(選項(xiàng))
MG15超高真空離子規(guī)控制器主要應(yīng)用:
適用于任何高真空和超高真空系統(tǒng)
測(cè)量壓力(從大氣壓到超高真空范圍)
MG15超高真空離子規(guī)控制器技術(shù)參數(shù):
供電電壓 | 100 – 240 VAC, 50 – 60 Hz (最大功耗200 W) |
測(cè)量通道 | up to 7 (有源通道:4個(gè);無源通道:最多3個(gè)) |
支持有源儀表 | CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PKR251/360/361, PCR280, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, PG105, ATMION, User defined* |
支持無源儀表 | IE414, IE514, UHV-24, UHV-24p, MKS Series 274, NUDE-UHV-8A, NR-F-UHV, G8130, BARION basic II, User defined* |
測(cè)量范圍: 被動(dòng)通道 主動(dòng)通道 | 2×12-12?mbar 5×10-10?mbar |
顯示范圍 | 2×10-12?– 2×105mbar |
設(shè)定值繼電器輸出 | 10 (4xNO/NC, 6xNO) |
繼電器輸出可配置激活信號(hào) | 4 (Emission, Degas) |
數(shù)字輸入 | 4 |
模擬輸出 | 4 (0-10V) |
通訊接口 | RS232/485, Ethernet, PROFINET (可選) |
通訊協(xié)議 | MODBUS-TCP |
用戶界面 | 7″ TFT 觸摸顯示屏 |
尺寸 [mm] | 212.6 x 128.4 x 260.3 mm (WxHxD), 1/2 of 3HE 19″ |
重量 (approx.) | 3.8 kg |