德國SIOS SP 5000 DI/DS位移角差分干涉儀 四光束激光干涉位移角差測量系統(tǒng)

位移角差分干涉儀 SP 5000 DI/DS

Displacement-angle differential interferometer SP 5000 DI/DS for highly stable differential length and pitch angle measurements

四光束激光干涉位移角差測量系統(tǒng)

  • 高度穩(wěn)定的差分長度和螺距角測量
  • XY 載物臺的完美選擇
  • 光束距離 15 mm（長度測量）和 6 mm（角度測量）
  • 極低的溫度靈敏度< 20 nm/K
  • 該設(shè)備提供 OEM 和真空版本

SP 5000 DI/DS?干涉儀結(jié)合了差分干涉儀和多光束干涉儀的優(yōu)點。它首次將基于差分原理的高度穩(wěn)定的長度測量與高分辨率干涉傾斜角測量相結(jié)合。這使得不僅可以檢測最微小的運動，還可以檢測更大區(qū)域的最小傾斜，而不會使結(jié)果受到熱和物理環(huán)境的影響。

干涉儀設(shè)計用于平面鏡和內(nèi)置測量系統(tǒng)?？梢允褂梅瓷淦?。干涉儀使用集成到光束路徑中的超穩(wěn)定光學(xué)元件進(jìn)行調(diào)整。

技術(shù)數(shù)據(jù)

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 同時測量長度和角度，以補償測量裝置中的阿貝誤差。
  • 使用帶有兩個傳感器頭的測量系統(tǒng)時 X-Y 工作臺的位置控制
  • 長期穩(wěn)定的長度和角度測量，最高分辨率的測量

適用

  • 長期測量
  • OEM 應(yīng)用
  • 最高的穩(wěn)定性要求

差分干涉儀的測量原理


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