雙光束激光干涉儀 SP 5000 DS

雙光束激光干涉儀，用于同時(shí)進(jìn)行準(zhǔn)確的長(zhǎng)度和角度測(cè)量

• 具有最高精度的靈活長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)
• 最高精度的角度檢測(cè)
• 易于調(diào)整和處理
• 可以使用各種光學(xué)反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
• 測(cè)量反射鏡允許傾斜高達(dá) ± 12.5°
• 緊湊的設(shè)計(jì)
• 傳感器頭有鋁、不銹鋼或因瓦合金材質(zhì)
• 光束距離：12 mm 標(biāo)準(zhǔn)，可根據(jù)要求提供其他
• 可提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
• 廣泛的觸發(fā)選項(xiàng)

SP 5000 DS 雙光束激光干涉儀用于除了長(zhǎng)度信息外，還需要同時(shí)采集運(yùn)動(dòng)角度的測(cè)量任務(wù)。該干涉儀的測(cè)量原理基于?SP 5000 NG?測(cè)量設(shè)備。
兩個(gè)測(cè)量激光束使用相同頻率的普通激光的光。兩個(gè)測(cè)量光束之間的光束間距經(jīng)過(guò)高精度校準(zhǔn)。測(cè)量光束彼此之間的平行度非常重要。如果兩個(gè)光束都使用一個(gè)公共反射器，則可以通過(guò)形成差值來(lái)以高分辨率測(cè)量和計(jì)算運(yùn)動(dòng)的角度。
如果兩個(gè)光束彼此獨(dú)立運(yùn)行，則可以進(jìn)行差分測(cè)量。對(duì)于差分測(cè)量的長(zhǎng)期穩(wěn)定性特別高的要求，我們推薦?SP 5000 DI?系列干涉儀。需要同時(shí)采集另一個(gè)角度的測(cè)量任務(wù)可以使用三光束?SP 5000 TR?干涉儀執(zhí)行。

技術(shù)數(shù)據(jù)