納米定位平臺(tái) NPP-1
用于 AFM 的平面激光干涉測(cè)量和定位系統(tǒng)
- 最高精度的 2.5 D 定位和測(cè)量系統(tǒng)
- 測(cè)量和定位范圍：表面 ? 100 mm
- 橫向測(cè)量分辨率 ≤ 0.02 nm
- 控制：3 個(gè)光纖耦合差分干涉儀
- 使用 633 nm 的 HeNe 激光器作為干涉儀的光源，實(shí)現(xiàn)計(jì)量重復(fù)性。
- 原子力顯微鏡作為探測(cè)測(cè)量系統(tǒng)，可根據(jù)要求提供其他顯微鏡
- 開(kāi)放式設(shè)備架構(gòu)支持客戶特定傳感器的應(yīng)用
- NPP-1 通過(guò) PC 軟件進(jìn)行控制。用戶 API 可用。
NPP-1 納米測(cè)量和定位平臺(tái)允許在約 100 毫米的范圍內(nèi)進(jìn)行定位。用于控制的激光干涉儀的高分辨率、定位天線的剛性結(jié)構(gòu)、定位系統(tǒng)的空氣軸承軸和優(yōu)化的控制系統(tǒng)允許運(yùn)動(dòng)的位置偏差和路徑保真度< 2 nm RMS。
測(cè)量對(duì)象直接放置在移動(dòng)鏡上。反射鏡的位置和旋轉(zhuǎn)是通過(guò)干涉測(cè)量法檢測(cè)的。
該系統(tǒng)使用?SP-DI/F?系列的超穩(wěn)定干涉儀。來(lái)自穩(wěn)定激光器的光通過(guò)光纖從電子單元傳輸?shù)礁缮鎯x頭。這導(dǎo)致了 NPP-1 的緊湊和溫度穩(wěn)定的設(shè)計(jì)。
該平臺(tái)的有效載荷高達(dá) 5 kg，甚至可以使用該平臺(tái)高精度定位更大更重的物體。NPP-1 納米定位系統(tǒng)的原理設(shè)計(jì)為可擴(kuò)展，因此系統(tǒng)可以根據(jù)要求進(jìn)行定制。
