Thermionics 多坩堝蒸發(fā)源
Thermionics推出了我們的高容量線性e-Gun,其中包含Z系列轉(zhuǎn)換器和坩堝蒸發(fā)源。與其他運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)相比,它具有成本效益且價(jià)格低廉。
HCL電子槍電動(dòng)Z系列坩堝蒸發(fā)源功能:
簡(jiǎn)單的控制特性
可靠性高且穩(wěn)定
速度控制范圍(電動(dòng)版)
電機(jī)壽命長(zhǎng)
計(jì)算機(jī)PC控制
較小的致動(dòng)器輪廓允許額外的源法蘭公用設(shè)施
坩堝視覺(jué)位置刻度
坩堝蒸發(fā)源技術(shù)特征:
操作壓力 | 低于5×10-5Torr是最佳操作所需的 |
額定功率 | 6.10 or 15 kW |
燈絲 | 12 VAC 60A |
最大功率 | 15 kW |
冷凝水 | 2gpm |
壓差 | 25 psi minimum |
最高烘烤溫度 | 200° C |
坩堝體積 | 7, 10, 15, 25, 40 or 75 cc |
訂購(gòu)信息:
?Motor Stepper
Description | Model No. |
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-0607-X-ZST-MS |
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1010-X-ZST-MS |
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1015-X-ZST-MS |
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1025-X-ZST-MS |
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1040-X-ZST-MS |
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1575-X-ZST-MS |
Manual
Description | Model No. |
7 cc HCL series e-Gun, 6 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-0607-X-ZST-M |
10 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1010-X-ZST-M |
15 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1015-X-ZST-M |
25 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1025-X-ZST-M |
40 cc HCL series e-Gun, 10 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1040-X-ZST-M |
75 cc HCL series e-Gun, 15 kW, 3, 4, 5, or 6+ pockets | HCL-1575-X-ZST-M |