我們的 e-Gun™ 多坩堝系統(tǒng) 在需要多個材料源的超高真空（UHV）應(yīng)用中提供無與倫比的多功能性。該系統(tǒng)專為高效材料切換而設(shè)計，能夠最大限度地提升沉積精度、降低停機(jī)時間，廣泛應(yīng)用于 航空航天、光學(xué)和前沿科研 領(lǐng)域。
Thermionics 最新研發(fā)的 RCR 系列多坩堝旋轉(zhuǎn)式 e-Gun™，具備 3 千瓦功率，專為科研應(yīng)用設(shè)計。該系列提供增強(qiáng)的電子束穩(wěn)定性、有效的 XY 掃描能力及完整坩堝覆蓋范圍，并可選配自動換位器實(shí)現(xiàn)自動定位（需單獨(dú)購買）。
主要特點(diǎn)
真正的 XY 掃描，可覆蓋整個坩堝區(qū)域
標(biāo)配掃描線圈
束斑準(zhǔn)直性能增強(qiáng)
插拔式發(fā)射器模塊，便于維護(hù)更換
高穩(wěn)定性冷卻系統(tǒng)
交叉污染防護(hù)設(shè)計
堅固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)
可選自動換位器（Auto-Indexer）
工作原理優(yōu)勢（相對于單坩堝源）
材料容量大：若每個坩堝裝填相同材料，可在一個真空周期內(nèi)蒸發(fā)更多蒸發(fā)物。
支持多材料沉積：最多可在一個真空周期內(nèi)依次蒸發(fā) 8 種不同材料，每個坩堝加熱時，其他坩堝被磁極片遮蔽，避免交叉污染。
單束控點(diǎn)：僅一個坩堝在任意時刻被加熱，電子束始終源自腔體內(nèi)的固定點(diǎn)。
高真空兼容：采用金屬密封與彈性體密封，基準(zhǔn)真空度可達(dá) 2 × 10?? Torr。
可更換坩堝輪：坩堝輪可從源頭頂部拆卸，無需拆解整機(jī)，支持現(xiàn)場升級。
技術(shù)參數(shù)
安裝配置選項(xiàng)
每臺 e-Gun™ 提供三種標(biāo)準(zhǔn)安裝方式：
