Thermionics FHC-275-1WC AP214真空大電流電氣饋通件

FHC 系列大電流電氣饋通件

這些饋通件為真空室提供大電流路徑。導(dǎo)體由 OFE 銅制成，提供水冷和實(shí)心導(dǎo)體型號(hào)。

• 最大電流：600 A1,600 A（水冷）
• 最大電壓：3,000 V（低于 10^-4托爾）
• 2.75“ 外徑法蘭
• 溫度范圍：-200°C 至 450°C
• 需要 CMC-150 連接器

FHV 系列高壓電氣饋通裝置

FHV 系列饋入裝置提供對(duì)真空室的高壓通道。它們包括單導(dǎo)體或雙導(dǎo)體型號(hào)，帶有配接外部連接器。

* 這些電壓額定值為 10^-4?Torr

Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍通過高效利用空間，實(shí)現(xiàn)了四種或更多不同材料的復(fù)雜共沉積工藝和共蒸發(fā)。Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍獨(dú)特的模塊化磁性設(shè)計(jì)能夠更加高效地生成電子束。Hyper-Unimelt 200 Hz 掃描技術(shù)可以消除隧道效應(yīng)和源材料噴發(fā)問題。插入式發(fā)射器組件和掃描線圈組件使得蒸發(fā)源更易于維護(hù)。

Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍具備簡(jiǎn)單的燈絲校準(zhǔn)、更高效的電子準(zhǔn)直、最小化燈絲變形以及消除電子試驗(yàn)的優(yōu)點(diǎn)，非常適合用于共蒸發(fā)！

滿足專利：4,835,789；4,891,291；4,947,404

Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍主要特征：

· 可同時(shí)操作六（6）種不同材料（可根據(jù)要求提供其他坩堝設(shè)計(jì)）
· 全金屬密封，完全兼容超高真空（UHV），基底壓力測(cè)量值：2×10^-11 Torr
· Hydra™ 設(shè)計(jì)消除了相鄰源之間的相互作用
· 專利磁性設(shè)計(jì)允許源頭靠近，實(shí)現(xiàn)均勻涂層和材料相互作用
· 每個(gè)坩堝源都獨(dú)立水冷，以防止蒸汽積聚
· 每個(gè)源坩堝有獨(dú)立的掃描線圈，確保每個(gè)源的獨(dú)立操作完整性，消除相鄰源的串?dāng)_干擾
· 可拆卸坩堝煙囪設(shè)計(jì)，方便清理沉積物
· 水冷發(fā)射器基板和坩堝
· 提供10kW或15kW選項(xiàng)
· 坩堝容量：10cc、15cc、40cc（可根據(jù)要求提供定制尺寸）
· 270°光束偏轉(zhuǎn)，燈絲外殼隔離任何顆粒暴露
· 動(dòng)態(tài)坩堝設(shè)計(jì)可選
· 易于拆卸的發(fā)射器組件設(shè)計(jì)
· Thermionics的Hyper-Unimelt掃頻設(shè)計(jì)（最佳低速或高速控制）
· 提供水平和垂直源法蘭安裝設(shè)計(jì)
· 消除光束彎曲
· UHV級(jí)掃描線圈隨源頭提供（200 Hz）
· 消除極片
· 簡(jiǎn)單的燈絲校準(zhǔn)
· 更高效的電子準(zhǔn)直
· 最小燈絲變形
· 消除電子尾巴
· 完全封閉的發(fā)射器組件可防止顆粒積聚
· 每個(gè)源獨(dú)立水冷
· 設(shè)計(jì)消除串?dāng)_干擾