差分泵旋轉(zhuǎn)密封（RNN）通過特高壓系統(tǒng)的真空壁提供360°的連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度。RNN具有兩個階段的差動泵送，它們通過在特殊密封面上的石墨浸漬，膨脹的Teflon?密封件隔離。預(yù)裝的滾珠軸承組可精確控制旋轉(zhuǎn)平臺的位置。
RNN帶有蠕蟲驅(qū)動器微調(diào)選項。這樣可以更輕松，更準(zhǔn)確地調(diào)整角度。RNN也可用于防反沖步進或同步電動機驅(qū)動。
本文列出了ID最多為12″的RNN。較大的ID具有出色的性能。
技術(shù)指標(biāo)
- 內(nèi)徑標(biāo)準(zhǔn)為1.53″至12″的型號，可根據(jù)要求提供更大的尺寸
- 可烘烤至150°C
- 固定法蘭和旋轉(zhuǎn)法蘭，帶螺紋
- 厚度大約是兩個ConFlat型法蘭的厚度
- 2級差動泵
- 基本壓力在10?-11??托范圍內(nèi)
- 0-360°標(biāo)尺，帶游標(biāo)，標(biāo)準(zhǔn)
RNN-400和更大型號的典型性能規(guī)格
- 分辨率：<0.004°
- 重復(fù)性：<0.008°
- 背隙：<0.035°
可讀性規(guī)范
- 標(biāo)準(zhǔn)比例：1.0°
- 機械計數(shù)器：0.1°
- 需要微步進電機驅(qū)動器以實現(xiàn)最大分辨率
選件
- 微調(diào)蝸桿驅(qū)動
- 精細(xì)調(diào)整的數(shù)字讀數(shù)，0.1°讀數(shù)，機械，不可復(fù)位
- 提供機械計數(shù)器選項
- 防反沖步進電機驅(qū)動器每整步0.018°（RNN-150 / MS上為0.0225°/整步），帶手動旋鈕
- 可在/ FA單元上自定義抽氣管長度和曲軸長度
有效載荷
下面列出了標(biāo)準(zhǔn)最大有效負(fù)載。較大的負(fù)載可以在特定的應(yīng)用程序下處理。請向工廠咨詢定制應(yīng)用。
- 有效載荷的重心在設(shè)備的極軸的“ X”以內(nèi)，其中X等于RNN ID的10％
- 有效負(fù)載的重心在水平安裝單元上的旋轉(zhuǎn)法蘭的“ Y”距離內(nèi)，其中Y是法蘭ID
- 真空外的有效負(fù)載的最大總尺寸“ A”為：
垂直運行：7 x法蘭外徑水平運行：5 x法蘭外徑反向操作：7 x法蘭外徑
有效負(fù)載位置
表1. RNN系列差動泵式旋轉(zhuǎn)密封
（包括可拆卸的調(diào)節(jié)扳手）
| ID | 法蘭 外徑 | A | B | C | D | E | F | G | H | 型號 編號 |
| 1.53 | 2.75 | 4.50 | 2.99 | 1.0 | 3.18 | 2.75 | .49 | .13 | 60° | RNN-150 |
| 1.53 | 2.75 / 6??1 | 6.00 | 2.99 | 1.34 | 3.33 | 2.75 | .15 | .13 | 45° | RNN-150 / 6 |
| 2.53 | 4.5 | 5.75 | 3.64 | 1.36 | 3.58 | 4.50 | .49 | .03 | 45° | RNN-250 |
| 2.53 | 4.5 / 6??1 | 6.00 | 3.64 | 1.52 | 3.71 | 4.50 | .33 | .03 | 45° | RNN-250 / 6 |
| 4.03 | 6 | 7.75 | 4.57 | 1.68 | 4.34 | 6.02 | .37 | .06 | 45° | RNN-400 |
| 6.03 | 8 | 10.25 | 6.16 | 1.74 | 5.70 | 8.00 | .42 | .13 | 54° | RNN-600 |
| 8.00 | 10 | 12.05 | 7.03 | 1.94 | 6.70 | 10.00 | .42 | .13 | 45° | RNN-800 |
| 10.00 | 13.25 | 15.75 | 8.81 | 2.37 | 8.50 | 13.28 | .29 | .13 | 24° | RNN-1000 |
| 12.00 | 14 | 20.00 | – | 3.34 | – | – | – | – | – | RNN-1200 |
尺寸（以英寸為單位）
1?分別表示安裝法蘭的尺寸
表2.帶有微調(diào)的RNN / FA差動泵旋轉(zhuǎn)密封1
| ID | 法蘭 外徑 | A | B | C | D | E | F | G | H | I | 傳動 比 | 型號 編號 |
| 1.53 | 2.75 | 5.13 | 3.38 | 1.00 | 4.95 | 2.75 | .49 | 0.37 | 60° | 3 | 80：1 | RNN-150 / FA |
| 1.53 | 2.75 / 6??2 | 6.00 | 3.84 | 1.34 | 5.32 | 2.75 | .15 | 0.37 | 45° | 3 | 100：1 | RNN-150 / 6 / FA |
| 2.53 | 4.5 | 6.38 | 4.20 | 1.36 | 6.11 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3 | 100：1 | RNN-250 / FA |
| 2.53 | 4.5 / 6??2 | 6.38 | 4.20 | 1.52 | 6.11 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3 | 100：1 | RNN-250 / 6 / FA |
| 4.03 | 6 | 8.50 | 8.25 | 1.68 | 9.28 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 4 | 100：1 | RNN-400 / FA |
| 6.03 | 8 | 10.25 | 8.50 | 1.74 | 9.93 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 5 | 100：1 | RNN-600 / FA |
| 8.00 | 10 | 12.75 | 9.56 | 1.94 | 11.50 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 5 | 100：1 | RNN-800 / FA |
| 10.00 | 13.25 | 17.00 | 11.86 | 2.37 | 17.25 | 13.28 | .29 | .91 | 24° | 7 | 100：1 | RNN-1000 / FA |
| 12.00 | 14 | 咨詢工廠 | RNN-1200 / FA | |||||||||
尺寸（英寸）
1??微調(diào)單元利用蝸桿驅(qū)動，在RNN-400和更大型號上具有動態(tài)反沖功能。它們帶有大旋鈕和曲柄手柄。
2??分別表示安裝法蘭尺寸
表3.具有防反沖/ MS步進或/ MY同步電動機驅(qū)動器的RNN / MS或/ MY差動泵旋轉(zhuǎn)密封1
| ID | 法蘭外徑 | AB | CD | E | F | G | H | I | 傳動比 | 型號編號 | ||
| 1.53 | 2.75 | 5.13 | 10.00 | 1.00 | 9.97 | 2.75 | .49 | 0.74 | 60° | 3.39 | 80：1 | RNN-150 / MS或/ MY |
| 1.53 | 2.75 / 6??2 | 5.13 | 10.00 | 1.34 | 9.97 | 2.75 | .15 | 0.74 | 45° | 3.39 | 100：1 | RNN-150 / 6 / MS或/ MY |
| 2.53 | 4.5 | 6.38 | 10.10 | 1.36 | 8.30 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100：1 | RNN-250 / MS或/ MY |
| 2.53 | 4.5 / 6??2 | 6.38 | 10.10 | 1.52 | 8.30 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100：1 | RNN-250 / 6 / MS或/ MY |
| 4.03 | 6 | 8.50 | 9.77 | 1.68 | 11.69 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 3.39 | 100：1 | RNN-400 / MS或/ MY |
| 6.03 | 8 | 10.20 | 10.13 | 1.74 | 11.69 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 3.39 | 100：1 | RNN-600 / MS或/ MY |
| 8.00 | 10 | 12.75 | 11.39 | 1.94 | 11.69 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 3.39 | 100：1 | RNN-800 / MS或/ MY |
| 10.00 | 13.25 | 咨詢工廠 | RNN-1000 / MS或/ MY | |||||||||
| 12.00 | 14 | 咨詢工廠 | RNN-1200 / MS或/ MY | |||||||||
| 18.00 | 24 | 咨詢工廠 | RNN-1800 / MS | |||||||||
| 24.00 | 34 | 咨詢工廠 | RNN-2400 / MS | |||||||||
尺寸（英寸）
1??電機驅(qū)動單元采用蝸桿傳動，并且均具有動態(tài)防反沖功能，并在電機后部配有旋鈕2??分別表示安裝法蘭的尺寸
選件
機械計數(shù)器
- 添加數(shù)字讀數(shù)以進行微調(diào)或電機驅(qū)動單元
- 0.1°讀數(shù)，機械，不可復(fù)位
- 側(cè)面可見
- 解決設(shè)備安裝在平臺上造成的障礙物妨礙度數(shù)視圖的問題
- 選擇/ MC選項時，不包括游標(biāo)刻度
氣門系統(tǒng)
- 允許第一級泵排空第二級泵
- 包括：兩個改良的1.33英寸外徑法蘭奶嘴； BVV-025可烘烤閥；柔性金屬管道
- 在RNN平臺上組裝
2 l / s離子泵附件
- 與閥組系統(tǒng)一起使用
- 允許連續(xù)泵送RNN
- 包括Alnico磁鐵
- 需要離子泵控制單元
離子泵控制單元
- 與2 l / s附屬離子泵組件一起使用
- 電源輸入：115 VAC，60 Hz或230 VAC，50 Hz（需指定）
- 輸出功率：5 kV DC
- 包括高壓同軸電纜和電源線
