WooilFlucon FVAT2020 氣動(dòng)隔膜閥 高純度氣動(dòng)隔膜閥 半導(dǎo)體濕法設(shè)備 超凈流體控制 耐強(qiáng)酸長(zhǎng)期浸泡 PTFE隔膜

FVAT 2020 氣動(dòng)隔膜閥

產(chǎn)品定位

FVAT 2020是一款1/4″管徑的高純度氣動(dòng)隔膜閥，專為半導(dǎo)體濕法設(shè)備和生物制藥領(lǐng)域的超凈流體控制設(shè)計(jì)，通過1000萬次壽命測(cè)試，滿足Class 100潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。

五大技術(shù)亮點(diǎn)

  1. 超凈材料體系

  2. 軍工級(jí)可靠性

  3. 智能驅(qū)動(dòng)配置

    • 可選NC/NO/雙作用三種氣動(dòng)模式

    • 集成可視流量調(diào)節(jié)窗（精度±5%）

  4. 零污染處理

    • 三級(jí)清洗工藝（脫脂→DI水超聲→真空包裝）

    • 顆?？刂疲骸?.1μm顆粒<5個(gè)/mL

  5. 模塊化連接

    • 支持卡套/擴(kuò)口/PT螺紋三種接口

    • 快拆式結(jié)構(gòu)（維護(hù)時(shí)間<3分鐘）

行業(yè)解決方案

應(yīng)用場(chǎng)景關(guān)鍵需求FVAT 2020解決方案
半導(dǎo)體顯影設(shè)備納米級(jí)顆?？刂?/td>全PFA流道+激光焊接工藝（Ra<0.2μm）
LCD刻蝕線耐強(qiáng)酸長(zhǎng)期浸泡特氟龍?jiān)鰪?qiáng)隔膜（耐98%硫酸@80℃）
生物制藥配液系統(tǒng)無菌要求蒸汽滅菌版本（可耐受121℃ SIP）
光伏清洗機(jī)高頻切換（1Hz）優(yōu)化氣路設(shè)計(jì)（響應(yīng)時(shí)間<50ms）

技術(shù)參數(shù)詳表

markdown

復(fù)制

下載

| 參數(shù)項(xiàng)              | 標(biāo)準(zhǔn)模式                | 高溫模式                |
|---------------------|------------------------|------------------------|
| **通徑尺寸**        | ?6mm                  | ?6mm                  |
| **流量系數(shù)**        | Cv=0.35               | Cv=0.28               |
| **工作溫度**        | 5~80℃                 | 5~120℃                |
| **正向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.3MPa              |
| **反向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.2MPa              |
| **驅(qū)動(dòng)氣壓**        | 0.4~0.6MPa            | 0.4~0.6MPa            |
| **泄漏等級(jí)**        | ANSI/FCI 70-2 Class VI | 零泄漏（氣泡法檢測(cè)）    |
| **潔凈度等級(jí)**      | SEMI F57 Level 1       | ISO Class 1           |

選型指南

  1. 腐蝕性介質(zhì)

    • 選配鉭彈簧版本（耐鹽酸/氫氟酸混合液）

    • 啟用”Chemical Mode”延長(zhǎng)隔膜壽命30%

  2. 無菌環(huán)境

    • 選擇電拋光版本（Ra<0.1μm）

    • 配套使用EPDM密封圈（耐伽馬射線滅菌）

  3. 高頻應(yīng)用

    • 建議加裝氣動(dòng)加速器（切換速度提升至20Hz）

    • 選用低摩擦系數(shù)導(dǎo)向套（壽命提升至2000萬次）

增值服務(wù)

  • 免費(fèi)提供萃取物測(cè)試報(bào)告（USP <661>合規(guī)）

  • 可選配數(shù)字孿生模型（預(yù)測(cè)維護(hù)周期）


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