WooilFlucon FVMT2120 高純手動(dòng)隔膜閥 超純流體控制 微流量控制 整體PFA流道結(jié)構(gòu) 增強(qiáng)型PTFE隔膜 顯影液/刻蝕液控制

FVMT 2120 高純手動(dòng)隔膜閥

核心規(guī)格參數(shù)

參數(shù)類別標(biāo)準(zhǔn)模式(PP材質(zhì))高溫模式(PPS材質(zhì))技術(shù)亮點(diǎn)
通徑尺寸?6mm?6mm納米級(jí)流道拋光
流量系數(shù)Cv=0.35Cv=0.28壓損降低48%
工作溫度5~80℃5~120℃瞬時(shí)耐溫150℃
工作壓力0~0.5MPa0~0.3MPa爆破壓力2.0MPa
反向耐壓0~0.5MPa0~0.2MPa零泄漏設(shè)計(jì)
表面處理Ra≤0.1μmRa≤0.08μm超越SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

  1. 超純流體控制

  1. 軍工級(jí)可靠性

  1. 精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)

  • 1/8圈精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

  • 帶可視流量刻度窗

  1. 全球認(rèn)證

  • CE/UL/SEMI F57

  • ASME BPE-2019

典型應(yīng)用場(chǎng)景

選型建議

  1. 腐蝕性介質(zhì)

  • 推薦配置:紅寶石閥座+鉭金屬?gòu)椈?/p>

  • 啟用”化學(xué)增強(qiáng)模式”

  1. 無(wú)菌環(huán)境

  • 選擇電拋光版本(Ra≤0.05μm)

  • 配套蒸汽滅菌功能

  1. 微流量控制

  • 加裝層流適配器

  • 選用精密調(diào)節(jié)手柄


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