WooilFlucon FVAT2020 氣動隔膜閥 高純度氣動隔膜閥 半導體濕法設備 超凈流體控制 耐強酸長期浸泡 PTFE隔膜

FVAT 2020 氣動隔膜閥

產(chǎn)品定位

FVAT 2020是一款1/4″管徑的高純度氣動隔膜閥，專為半導體濕法設備和生物制藥領域的超凈流體控制設計，通過1000萬次壽命測試，滿足Class 100潔凈室標準。

五大技術(shù)亮點

  1. 超凈材料體系

  2. 軍工級可靠性

    • 1000萬次循環(huán)測試（等效10年連續(xù)操作）

    • 超大流量設計（Cv=0.35，壓損降低40%）

  3. 智能驅(qū)動配置

    • 可選NC/NO/雙作用三種氣動模式

    • 集成可視流量調(diào)節(jié)窗（精度±5%）

  4. 零污染處理

    • 三級清洗工藝（脫脂→DI水超聲→真空包裝）

    • 顆?？刂疲骸?.1μm顆粒<5個/mL

  5. 模塊化連接

    • 支持卡套/擴口/PT螺紋三種接口

    • 快拆式結(jié)構(gòu)（維護時間<3分鐘）

行業(yè)解決方案

應用場景關鍵需求FVAT 2020解決方案
半導體顯影設備納米級顆?？刂?/td>全PFA流道+激光焊接工藝（Ra<0.2μm）
LCD刻蝕線耐強酸長期浸泡特氟龍增強隔膜（耐98%硫酸@80℃）
生物制藥配液系統(tǒng)無菌要求蒸汽滅菌版本（可耐受121℃ SIP）
光伏清洗機高頻切換（1Hz）優(yōu)化氣路設計（響應時間<50ms）

技術(shù)參數(shù)詳表

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復制

下載

| 參數(shù)項              | 標準模式                | 高溫模式                |
|---------------------|------------------------|------------------------|
| **通徑尺寸**        | ?6mm                  | ?6mm                  |
| **流量系數(shù)**        | Cv=0.35               | Cv=0.28               |
| **工作溫度**        | 5~80℃                 | 5~120℃                |
| **正向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.3MPa              |
| **反向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.2MPa              |
| **驅(qū)動氣壓**        | 0.4~0.6MPa            | 0.4~0.6MPa            |
| **泄漏等級**        | ANSI/FCI 70-2 Class VI | 零泄漏（氣泡法檢測）    |
| **潔凈度等級**      | SEMI F57 Level 1       | ISO Class 1           |

選型指南

  1. 腐蝕性介質(zhì)

    • 選配鉭彈簧版本（耐鹽酸/氫氟酸混合液）

    • 啟用”Chemical Mode”延長隔膜壽命30%

  2. 無菌環(huán)境

    • 選擇電拋光版本（Ra<0.1μm）

    • 配套使用EPDM密封圈（耐伽馬射線滅菌）

  3. 高頻應用

    • 建議加裝氣動加速器（切換速度提升至20Hz）

    • 選用低摩擦系數(shù)導向套（壽命提升至2000萬次）

增值服務

  • 免費提供萃取物測試報告（USP <661>合規(guī)）

  • 可選配數(shù)字孿生模型（預測維護周期）


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