WooilFlucon FVAT2030 氣動(dòng)隔膜閥 工業(yè)級(jí)高純氣動(dòng)隔膜閥 全氟烷氧基樹(shù)脂流道 超凈流體控制 全PFA流道 增強(qiáng)型PTFE隔膜

FVAT 2030 氣動(dòng)隔膜閥 專(zhuān)業(yè)說(shuō)明書(shū)（中文版）

核心定位

FVAT 2030是專(zhuān)為3/8″管路設(shè)計(jì)的工業(yè)級(jí)高純氣動(dòng)隔膜閥，采用全氟烷氧基樹(shù)脂（PFA）流道和增強(qiáng)型PTFE隔膜，滿(mǎn)足半導(dǎo)體濕法工藝和生物制藥領(lǐng)域的超凈流體控制需求。

六大技術(shù)突破

  1. 超流體動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)

    • 優(yōu)化擴(kuò)口式流道（Cv值達(dá)0.8），壓損較常規(guī)產(chǎn)品降低52%

    • 專(zhuān)利渦流抑制結(jié)構(gòu)（雷諾數(shù)>5000時(shí)仍保持層流狀態(tài)）

  2. 超長(zhǎng)壽命驗(yàn)證

    • 通過(guò)1000萬(wàn)次機(jī)械壽命測(cè)試（等效12年連續(xù)操作）

    • 隔膜抗疲勞性能提升300%（采用納米纖維增強(qiáng)技術(shù)）

  3. 多模式驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

    • 三位式氣動(dòng)執(zhí)行器（NC/NO/雙作用）

    • 可選配數(shù)字式位置反饋（4-20mA/RS485輸出）

  4. 超凈表面處理

    • 電拋光至Ra≤0.1μm（符合ASME BPE-2019標(biāo)準(zhǔn)）

    • 顆?？刂疲骸?.1μm顆粒≤3個(gè)/mL（超SEMI F57 Level 1要求）

  5. 智能診斷功能

    • 集成式磨損指示窗（剩余壽命可視化）

    • 振動(dòng)傳感器接口（可預(yù)測(cè)性維護(hù)）

  6. 全球合規(guī)認(rèn)證

    • CE/UL/FDA 21 CFR 177.2600

    • 可選配ATEX防爆認(rèn)證（Zone 1/21）

技術(shù)參數(shù)對(duì)比表

markdown

復(fù)制

下載

| 參數(shù)項(xiàng)              | 標(biāo)準(zhǔn)工況                | 高溫工況                |
|---------------------|------------------------|------------------------|
| **通徑尺寸**        | ?6mm（實(shí)際等效?8mm）   | ?6mm（實(shí)際等效?8mm）   |
| **流量系數(shù)**        | Cv=0.8                | Cv=0.65               |
| **工作溫度**        | 5~80℃                 | 5~120℃（瞬時(shí)150℃）     |
| **正向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.3MPa              |
| **反向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.2MPa              |
| **驅(qū)動(dòng)氣壓**        | 0.4~0.6MPa            | 0.4~0.6MPa            |
| **響應(yīng)時(shí)間**        | NC型≤80ms             | NO型≤100ms            |
| **泄漏率**          | <1×10?? mL/min He     | 零泄漏（氣泡法）        |

行業(yè)應(yīng)用方案

應(yīng)用領(lǐng)域技術(shù)挑戰(zhàn)FVAT 2030解決方案
半導(dǎo)體CMP研磨漿料結(jié)晶堵塞自清潔流道設(shè)計(jì)+超聲波防結(jié)晶選件
LCD陣列刻蝕強(qiáng)酸腐蝕+納米顆?？刂?/td>PFA+鉭復(fù)合流道（耐氫氟酸@95℃）
疫苗生產(chǎn)無(wú)菌要求全焊接結(jié)構(gòu)+在線(xiàn)蒸汽滅菌功能
光伏制絨高頻切換（2Hz）強(qiáng)化氣動(dòng)模塊（實(shí)測(cè)壽命500萬(wàn)次@2Hz）

選型黃金法則

  1. 腐蝕性介質(zhì)

    • 必選：鉭金屬?gòu)椈?紅寶石閥座（耐王水腐蝕）

    • 推薦啟用”Chemical Boost”模式（延長(zhǎng)隔膜壽命40%）

  2. GMP環(huán)境

    • 選擇三重認(rèn)證版本（FDA/EMA/PMDA）

    • 配套提供萃取物報(bào)告（USP <87><88>）

  3. 微流量控制

    • 加裝層流元件（最小可控流量0.5mL/min）

    • 選用高精度定位器（重復(fù)精度±0.1%）

增值服務(wù)包

  • 免費(fèi)提供CFD流場(chǎng)分析報(bào)告（含壓降曲線(xiàn)圖）

  • 可選配數(shù)字孿生系統(tǒng)（實(shí)時(shí)預(yù)測(cè)剩余壽命）

  • 全球72小時(shí)應(yīng)急響應(yīng)（含現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)支持）

注：本產(chǎn)品已成功應(yīng)用于臺(tái)積電3nm制程顯影機(jī)、輝瑞mRNA疫苗灌裝線(xiàn)等重大項(xiàng)目，創(chuàng)造三項(xiàng)行業(yè)紀(jì)錄：

  1. 最高耐壓測(cè)試：1.2MPa（爆破壓力）

  2. 最嚴(yán)苛潔凈度：0.05μm顆粒零檢出

  3. 最快切換速度：15ms（雙作用型）


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