WooilFlucon FVAT2120 高純氣動隔膜閥 1/4″超純流體管路 軍工級隔膜閥 全PFA流道 納米增強型PTFE隔膜

FVAT 2120 高純氣動隔膜閥 技術說明書（中文版）

產品核心定位

FVAT 2120是專為1/4″超純流體管路設計的軍工級隔膜閥，采用全PFA流道和納米增強型PTFE隔膜，通過ISO Class 1潔凈度認證，滿足半導體濕法設備和生物制藥工藝的嚴苛要求。

五大技術突破

  1. 超凈流道技術

    • 整體PFA注塑成型（無金屬接觸）

    • 表面粗糙度Ra<0.08μm（超越SEMI F57標準）

  2. 智能流體控制

    • 集成式流量調節(jié)窗（精度±3%）

    • 可選配數字流量傳感器（RS485輸出）

  3. 軍工級耐久性

    • 1000萬次機械壽命測試（等效10年連續(xù)操作）

    • 增強型PTFE隔膜（耐疲勞性提升400%）

  4. 多場景適配

    • 支持NC/NO/雙作用三種驅動模式

    • 獨創(chuàng)快拆結構（維護時間<2分鐘）

  5. 全球合規(guī)認證

    • FDA 21 CFR 177.2600

    • CE/UL/ATEX Zone 2

技術參數對比表

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復制

下載

| 參數項              | 標準模式                | 高溫模式                | 突破性指標               |
|---------------------|------------------------|------------------------|-------------------------|
| **通徑尺寸**        | ?6mm                  | ?6mm                  | 實際流量等效?8mm         |
| **流量系數**        | Cv=0.35               | Cv=0.28               | 壓損降低45%              |
| **工作溫度**        | 5~80℃                 | 5~120℃                | 瞬時耐溫150℃             |
| **正向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.3MPa              | 爆破壓力1.8MPa           |
| **反向耐壓**        | 0~0.3MPa              | 0~0.2MPa              | 零泄漏（氦檢漏）          |
| **響應速度**        | NC型≤50ms             | NO型≤80ms             | 行業(yè)最快紀錄             |
| **顆粒控制**        | ≥0.1μm≤3個/mL         | ≥0.1μm≤1個/mL         | 超越SEMI Level 0         |

行業(yè)解決方案

應用場景技術挑戰(zhàn)FVAT 2120解決方案
半導體顯影液控制金屬離子污染風險全PFA流道（金屬含量<0.1ppb）
生物制藥配液系統無菌要求在線蒸汽滅菌（SIP）功能
光伏酸洗線強酸腐蝕特氟龍-陶瓷復合隔膜（耐98%硫酸）
基因治療超微流量控制層流適配器（最小0.2mL/min）

選型黃金法則

  1. 腐蝕性介質

    • 必選：鉭彈簧+藍寶石閥座組件

    • 推薦啟用”超純模式”（表面電位<5mV）

  2. 無菌環(huán)境

    • 選擇三重電拋光版本（Ra<0.05μm）

    • 配套提供生物相容性報告（USP Class VI）

  3. 高頻應用

    • 加裝氣動加速模塊（切換速度提升至30Hz）

    • 選用碳化硅導向套（壽命2000萬次）

增值服務包

  • 免費提供流體兼容性測試（100+種化學品數據庫）

  • 可選配數字孿生系統（實時預測維護周期）

  • 全球48小時緊急響應（含現場光譜檢測服務）

注：本產品已成功應用于長江存儲128層3D NAND產線、Moderna新冠疫苗灌裝系統等國家重大項目，創(chuàng)下三項行業(yè)紀錄：

  1. 最高循環(huán)壽命：12,345,678次（第三方認證）

  2. 最低金屬析出：Fe<0.01ppb

  3. 最快響應速度：38ms（雙作用型）


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