FVAT 2130 氣動隔膜閥
產(chǎn)品核心優(yōu)勢
FVAT 2130是專為3/8″工業(yè)管路設(shè)計的高性能氣動隔膜閥，采用全氟化流道和軍工級PTFE隔膜，通過1000萬次機(jī)械壽命測試，滿足半導(dǎo)體和生物制藥領(lǐng)域?qū)Τ瑑袅黧w的嚴(yán)苛控制需求。
技術(shù)參數(shù)詳情
| 關(guān)鍵指標(biāo) | 標(biāo)準(zhǔn)工況 | 高溫工況 | 技術(shù)突破 |
|---|---|---|---|
| 通徑尺寸 | ?6mm | ?6mm | 流體效率提升40% |
| 流量系數(shù)(Cv) | 0.8 | 0.65 | 壓損降低55% |
| 工作溫度 | 5~80℃ | 5~120℃ | 瞬時耐溫150℃ |
| 正向工作壓力 | 0~0.5MPa | 0~0.3MPa | 爆破壓力2.0MPa |
| 反向工作壓力 | 0~0.3MPa | 0~0.2MPa | 零泄漏設(shè)計 |
| 驅(qū)動氣壓 | 0.4~0.6MPa | 0.4~0.6MPa | 低功耗設(shè)計(＜3W) |
| 響應(yīng)時間 | NC型≤60ms | NO型≤90ms | 行業(yè)領(lǐng)先水平 |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.1μm | Ra≤0.08μm | 超越SEMI F57標(biāo)準(zhǔn) |
核心特點(diǎn)
超凈材料系統(tǒng)
全PFA流道結(jié)構(gòu)（耐98%硫酸/49%氫氟酸）
納米增強(qiáng)PTFE隔膜（通過FDA 21 CFR 177.2600認(rèn)證）
智能控制系統(tǒng)
三色LED狀態(tài)指示（紅/黃/綠）
可選配IoT模塊（支持4G遠(yuǎn)程監(jiān)控）
軍工級可靠性
加速壽命測試等效15年使用
專利防結(jié)晶設(shè)計（適用于CMP漿料）
行業(yè)應(yīng)用方案
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 解決方案 |
|---|---|
| 半導(dǎo)體濕法設(shè)備 | 特氟龍涂層流道（金屬含量＜0.05ppb） |
| LCD刻蝕線 | 鉭金屬彈簧組件（耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿） |
| 疫苗生產(chǎn) | 全焊接無菌結(jié)構(gòu)（可在線蒸汽滅菌） |
| 光伏制絨 | 高頻響應(yīng)版本（切換速度達(dá)20Hz） |
選型指南
腐蝕性介質(zhì)選配
必選：紅寶石閥座+哈氏合金彈簧
推薦：啟用”化學(xué)增強(qiáng)模式”
無菌環(huán)境要求
選擇三重電拋光版本
配套提供生物相容性報告
高頻應(yīng)用場景
加裝氣動加速器
選用碳化硅導(dǎo)向組件
