FW 1200使用SUS316進(jìn)行折疊部，適用于部分化學(xué)物和超純水的儀表，并以緊湊的尺寸測量到水基準(zhǔn)5L/min。連接有PT、VCR、Lok Fitting等多種類型，適用于半導(dǎo)體設(shè)備的Solvent、DI water、Gas等。借助Alarm，photo和Magnet sensor都可以。

– DI Water、gas和chemical響應(yīng)
-以水為基準(zhǔn)，可測量5L/min
– 100% 1比1流量calibration
-安裝用于調(diào)節(jié)流量的近電壓
-可以輸出用于流量級別監(jiān)視的alarm
-訂單人規(guī)格的連接應(yīng)用
-制作訂購者規(guī)格的流量測量范圍。
-用DI Water進(jìn)行超聲波清洗和真空包裝
-在潔凈室組裝

-半導(dǎo)體設(shè)備的DI Water、Gas、Chemical供應(yīng)線
-用自近鄰閥精確控制流量
-測量小型研究所等實(shí)用程序的流量
——各種儀器設(shè)備的三棱線流量測量與控制
-微生物、化學(xué)、醫(yī)藥等高純度流體使用領(lǐng)域

-應(yīng)用流體:氣體、液體(viscosity 5.0cP)
-測量流量:
Water – Min 500CCM/Max 5LPM
Gas – Min 20LPM/ Max 100LPM
-測量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 Bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:58 Bar
-使用溫度:0~90℃