一種中、大流量流量計(jì)，旨在使用Teflon和PVC等耐火樹(shù)脂，適用于各種化學(xué)和DI water的使用。

-卓越的耐化學(xué)性
-以水為基準(zhǔn)測(cè)量50L/min(max)
-安裝用于調(diào)節(jié)流量的近電壓
-多種歐元選擇，安裝inline或panel mounting
-流量級(jí)別監(jiān)視的alarm輸出
-前后panel mounting功能
-制作訂購(gòu)者規(guī)格的流量測(cè)量范圍。
-用DI water進(jìn)行超聲波清洗，在clean room進(jìn)行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-半導(dǎo)體wet process設(shè)備的DI water、化學(xué)補(bǔ)給線
-化學(xué)供應(yīng)線
-化學(xué)供應(yīng)鏈系統(tǒng)的流量測(cè)量
-流量測(cè)量和用自近鄰精確控制流量
-測(cè)量小型研究所等實(shí)用程序的流量
-微生物、化學(xué)、醫(yī)學(xué)等高純度流體使用領(lǐng)域

-應(yīng)用流體:液體(viscosity 5.0 cP)
-測(cè)量流量:Water – Min 10LPM/ Max 50LPM
-測(cè)量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 Bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:25 Bar
-使用溫度:Max 0 ~ 60℃