All PFA流量計由PFA接液部和PFA錐管組成，具有卓越的耐火學(xué)性能，可適用于所有種類的化學(xué)，是需要耐火學(xué)性能的設(shè)備的理想流量計。

-沒有粒子發(fā)生和金屬污染
-最適合各類化學(xué)計量和控制流量
-外部組件用全PFA coating防止腐蝕
-以水為基準(zhǔn)，流量可測量到3-50LPM
-安裝Panel mounting
-流量級別監(jiān)視的alarm輸出
-用DI water進行超聲波清洗，并在Clean room進行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-用于Wet process的半導(dǎo)體設(shè)備的化學(xué)補給線
–高純度化學(xué)藥品的流量測量

-應(yīng)用流體:液體(viscosity 5.0cP)
-測量流量:Water – Min 3 LPM/Max 50 LPM
-測量誤差:3%全比例
-使用壓力:3 bar