流量計的接液部和連接由PFA組成，使用PTFE包裝，具有卓越的耐火性能，是一種擁有量計，可以精確控制流量的半導(dǎo)體流量計。

-沒有粒子發(fā)生和離子污染
-用于PFA tube連接的連接結(jié)構(gòu)
-測量Gas、DI water、chemical等的流量
-緊湊的大小
-進行電器的可靠性測試
-安裝用于調(diào)節(jié)流量的近電壓
-制作訂購者規(guī)格的流量測量范圍。
-用DI water進行超聲波清洗，并在clean room進行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-半導(dǎo)體spin etching設(shè)備的擁有量化學、DI water測量和控制
-用于Wet process的半導(dǎo)體設(shè)備
-使用高純化學和二水的儀器流量測量
-測量高純度流體流量，如小型研究所
-微生物、化學、醫(yī)學等高純度流體使用領(lǐng)域

-應(yīng)用流體:氣體、液體(viscosity 5.0 cP)
-測量流量:
Water – Min 20 CCM / Max 2 LPM
Gas – Min 500 CCM / Max 50 LPM
-測量誤差:3%全比例
-使用壓力:Max 3 bar
-使用溫度:Max 50 ℃