無(wú)狀態(tài)材料的低成本大容量流量計(jì)
用簡(jiǎn)易結(jié)構(gòu)的低價(jià)型開(kāi)發(fā)的流量計(jì)，折疊部使用SUS316材料，塔伯管使用borosilicate glass。
使用后可用于各種gas和chemical，特別是以水為基準(zhǔn)的100liter/min的大容量流量計(jì)。

-以水為基準(zhǔn)測(cè)量到100 liter/min的大流量
-一個(gè)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)
– Gas、chemical、pcw對(duì)應(yīng)
-硼硅酸鹽類(lèi)的優(yōu)良耐化學(xué)性
-流量級(jí)別監(jiān)視的alarm輸出
-允許各種連接方向和線(xiàn)性管路
-制作訂購(gòu)者規(guī)格的流量測(cè)量范圍。
-用DI water進(jìn)行超聲波清洗，并在clean room進(jìn)行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-半導(dǎo)體、LCD設(shè)備的gas、chemical供應(yīng)線(xiàn)
-高壓力的PCW線(xiàn)
– 100liter/min大流量設(shè)備
-降低設(shè)備成本
-各種角度的管道結(jié)構(gòu)流量計(jì)

-應(yīng)用流體:氣體、液體(viscosity < 5.0cP)
-測(cè)量流量:
Water – Min 30LPM / Max 100LPM
Gas- Min 700LPM / Max 2000LPM
-測(cè)量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:87 bar
-使用溫度:Max 0~90℃