FW 4600 數(shù)字式氣體微流量調(diào)節(jié)計
產(chǎn)品類型
規(guī)格書
[FW4600_2024.12.pdf]
產(chǎn)品說明
采用?MEMS技術(shù)?的微量氣體流量調(diào)節(jié)計（閥門型）。
接觸流體部分：SUS316不銹鋼
外觀：陽極氧化鋁處理，精致小巧的機身
適用于?Air（空氣）、N?、O?、Ar、He、CO??等氣體的微量流量控制
特點
100% 一對一流量校準(zhǔn)
配備?流量調(diào)節(jié)針閥（Needle Valve）
支持?流量水平監(jiān)控報警輸出
可定制?用戶指定流量測量范圍
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體設(shè)備及研究設(shè)備的氣體管路
通過自帶針閥實現(xiàn)?流量精密控制
小型實驗室?公用設(shè)施流量測量
各類?檢測設(shè)備的采樣管路?流量測量及控制
微生物、化學(xué)、制藥?等高純度流體應(yīng)用領(lǐng)域
技術(shù)規(guī)格
適用流體：氣體（N?、Air、O?、Ar、He等）
測量流量范圍（氣體）：
0~500 SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）
0~1 LPM（升/分鐘）
0~2 LPM
0~5 LPM
測量誤差：±3% 滿量程（F.S）
工作壓力范圍：最大 1MPa（10kg/cm2）
工作溫度范圍：-10 ~ +55℃
