SF300-1ST 超聲波流量計(jì) 產(chǎn)品說明(中文版)
產(chǎn)品概述
SF300-1ST是一款高精度非接觸式超聲波流量計(jì),專為半導(dǎo)體、化工和生物制藥等嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境設(shè)計(jì)。其獨(dú)特的外夾式傳感器技術(shù)可實(shí)現(xiàn)對腐蝕性化學(xué)品、CMP漿料等高難度流體的精準(zhǔn)測量。
核心特點(diǎn)
無懼流體特性變化:不受電導(dǎo)率、溫度、壓力波動影響(適應(yīng)±20℃驟變環(huán)境)
軍工級測量性能:
超高粘度兼容:可達(dá)40mm2/s(相當(dāng)于重機(jī)油粘度)
超寬量程比:1:250(0.2-80L/min)
±2%讀數(shù)精度(需流速≥1m/s)
衛(wèi)生級設(shè)計(jì):
全密封316L不銹鋼傳感器(IP68防護(hù))
零流體接觸(避免交叉污染)
內(nèi)置氣泡抑制結(jié)構(gòu)
智能診斷:
實(shí)時(shí)信號強(qiáng)度指示
自動溫度補(bǔ)償(-20~80℃)
CE/RoHS雙認(rèn)證
行業(yè)解決方案
應(yīng)用場景 | 解決痛點(diǎn) | 典型介質(zhì) |
---|---|---|
半導(dǎo)體CMP制程 | 研磨漿料結(jié)晶堵塞傳統(tǒng)流量計(jì) | 二氧化硅/氧化鈰漿料(pH1-14) |
生物制藥 | 無菌要求禁止侵入式測量 | 疫苗原液、PBS緩沖液 |
光伏清洗線 | 強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕傳感器 | HF/HNO3混合酸(濃度30%) |
?;份斔?/td> | 防爆區(qū)域電氣隔離需求 | 丙酮、DMF等有機(jī)溶劑 |
技術(shù)參數(shù)詳表
| 參數(shù)項(xiàng) | 3/4"型號 | 1"型號 |
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| **管徑范圍** | Φ19.05×16.05mm | Φ25.4×22.4mm |
| **流量范圍** | 0.2-50L/min | 0.2-80L/min |
| **線性度** | ±0.5%讀數(shù)(≥2m/s) | ±0.5%讀數(shù)(≥2m/s) |
| **輸出接口** | 4-20mA+脈沖輸出(隔離) | RS-485 Modbus RTU |
| **電源配置** | 24VDC±10% | 100-240VAC(可選) |
| **過程連接** | 卡箍式快裝(SUS316L) | 法蘭連接(ANSI B16.5) |
選型指南
腐蝕性介質(zhì):建議選配PTFE襯里傳感器(耐氫氟酸)
漿料測量:需啟用”Slurry Mode”算法補(bǔ)償固體顆粒干擾
微流量場景:搭配專用流道適配器(最小可測0.05L/min)
服務(wù)承諾
提供FDA/GMP合規(guī)性文件(適用于制藥行業(yè)
注:本產(chǎn)品已成功應(yīng)用于臺積電7nm制程超純水系統(tǒng)、藥明生物新冠疫苗生產(chǎn)線等標(biāo)桿項(xiàng)目。